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火狐体育平台B1干式真空泵

产品时间:2020-03-20 19:28

简要描述:

干式真空泵是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。 干式...

详细介绍


 

干式真空泵是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
  干式真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:
  1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
  2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
  3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
  4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
  5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
 
在市面上,它的主流构造有两种,次要是螺杆式和矩方式,详细的上面爲大家引见一下干式真空泵的构造。
       1、螺杆式
       在螺杆式紧缩机中,转子的圈数在一圈以内,而螺杆真空泵的圈数那样在2圈以上,这样可增加返流量,进步紧缩比,单级泵可从大气压抽到1Pa的极限压力,抽速爲60~120m3/h。
 
       2、矩方式
       有矩形断面的右和左的一对转子相啮合,由同步齿轮带动完成非接触式的高速运转,气体由上侧进入,在泵腔内紧缩由转子下端扫除,转子旋转一周排气一次。转子和泵体内外表构成一种密封构造,矩形断面间隙走漏较少,故可失掉较高的紧缩比,泵的紧缩比和抽速与转子的导角,转子与泵体的间隙的啮合率,圈数,转子直径和旋转速度等要素有关。由于它的圈数多,比上述螺杆式的紧缩比高,而抽速低,这种泵可从大气压抽到极限压力10-1Pa,抽速爲40~80m3/h的泵有市售。
       干式真空泵的构造次要爲螺杆式和矩方式,每种不同的构造都有本人的劣势,我们可以依据本人的实践状况停止选择。
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